半导体集成电路制造手册
【作　者】[美]HWAIYU GENG等著 赵树武 陈松 赵水林 黄小锋等译
【丛书名】
【形态项】 732
【读秀号】000004866189
【出版项】 电子工业出版社 , 2006
【ISBN号】 7-121-03281-3 / TN430.5/2/2006
【原书定价】 168.00
【主题词】半导体集成电路 集成电路工艺 教材
【参考文献格式】[美]HWAIYU GENG等著 赵树武 陈松 赵水林 黄小锋等译. 半导体集成电路制造手册. 电子工业出版社, 2006.


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很好的手册，多谢楼主了